2025年4月23日上午，來自學術界、產業界的二十幾名專家學者齊聚復旦大學，共同見證“復旦大學先進光刻膠材料教育部工程研究中心”正式揭牌成立。該中心的成立是復旦大學服務國家重大戰略需求、推動產學研深度融合的重要舉措，旨在攻克高端光刻膠材料的“卡脖子”技術難題，助力我國集成電路產業邁向全球價值鏈高端。復旦大學副校長姜育剛出席中心成立儀式并致辭，復旦大學微電子學院院長張衛主持成立儀式。 

聚焦國家戰略需求，打造自主創新高地 

姜育剛副校長在致辭中表示，光刻膠作為芯片制造的核心材料，其技術水平直接決定了集成電路的制造工藝精度和產業競爭力。他強調，復旦大學整合校內集成電路、化學、高分子、材料等多學科優勢力量，成立這一研究中心，是學校在“教育強國打頭陣，自主創新當尖兵”使命下的重要實踐。希望中心聚焦光刻膠材料“從實驗室到生產線”的工程化難題，加速國產高端光刻膠的自主可控進程，為國內芯片制造企業提供穩定可靠的工藝技術與材料研究支撐。

產學研協同創新，凝聚行業頂尖力量 

儀式上，復旦大學研究生院副院長梅永豐宣讀了第一屆技術委員會名單，復旦大學人事處處長熊易寒為委員頒發聘書。上海華力集成電路制造有限公司周文湛擔任委員會主任，蘇州潤邦半導體馬曉明博士、浙江新盈電子方書農博士擔任副主任，十余位行業領軍專家擔任委員。 

隨后，姜育剛副校長與科研院基地建設與成果管理處處長張峰、微電子學院黨委書記羅凌、微電子學院院長張衛、中心主任伍強、技術委員會主任周文湛共同為研究中心揭牌，標志著這一重要平臺的正式啟動。

專題研討共謀發展，前沿洞見引領未來

揭牌儀式后，專題發言環節由中心主任伍強教授主持。來自上海華力、蘇州潤邦、騰訊量子實驗室、張江國家實驗室等單位的十位專家圍繞光刻膠材料研發、計算光刻技術、產業鏈協同等主題展開深入研討。

技術委員會主任、上海華力集成電路制造有限公司周文湛先生指出，光刻膠國產化需學術界與產業界深度協作，以模塊化研發與優化思路，結合計算光刻、量子化學、人工智能（AI）等技術手段，實現先進節點光刻技術升級。

 騰訊量子實驗室研究員馬星宇分享了AI在計算光刻與光刻膠建模中的應用前景；浙江新盈電子董事長方書農博士、蘇州潤邦半導體董事長馬曉明博士分別闡述了國產光刻膠樹脂材料對產業鏈自主可控的賦能作用；徐州博康首席科學家冉瑞成博士提出建立材料配方的系統性模型與數據庫，建立知識產權的科學管理機制，以加快上下游的高效合作；合光光掩模科技首席技術官岳力挽與市場戰略部經理胡華勇先生分析了光掩模與光刻膠材料的發展趨勢；張江國家實驗室朱慧娥研究員剖析了國外光刻膠產業的發展歷程及國內研發面臨的挑戰；上海集成電路制造創新中心閻江博士解讀了基于物理模型的光學鄰近效應修正（OPC）匹配光刻膠技術路線。 

最后，工程中心主任伍強教授在總結中提出“設計-基礎設施協同優化（DICO）”技術總路線，并分享了關鍵研究案例。他表示，中心將秉持“開放協同”理念，聯合產學研力量推動技術轉化，為中國集成電路產業高質量發展注入新動能。 

與會專家們還提議增加光刻材料、工藝等相關專業的人才培養，并就后續合作展開了熱烈討論。

承載使命，邁向新征程

恰逢復旦大學建校120周年，先進光刻膠材料教育部工程研究中心的成立，不僅是學校推進“新工科”建設的重要舉措，更是國家集成電路產業自主創新的重要探索。此次大會的圓滿舉辦，為高端光刻膠材料的國產化之路開啟了全新篇章。未來，中心將依托復旦大學的多學科優勢，匯聚產學研智慧，加速技術攻關與成果轉化，助力我國在全球半導體產業鏈中占據更重要的地位。

 （來源：復旦大學微電子學院）