?2025年4月23日，在第三屆九峰山論壇(JFSC)暨化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)博覽會(CSE)期間，第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟（CASA）（以下簡稱“聯(lián)盟”）正式發(fā)布2項SiC單晶生長用等靜壓石墨標(biāo)準(zhǔn)：
T/CASAS 036—2025《碳化硅單晶生長用等靜壓石墨構(gòu)件純度測定方法 輝光放電質(zhì)譜法》
T/CASAS 048—2025《碳化硅單晶生長用等靜壓石墨》
兩項標(biāo)準(zhǔn)的發(fā)布，旨在為碳化硅（SiC）單晶生長技術(shù)的規(guī)模化、高質(zhì)量發(fā)展提供關(guān)鍵支撐。
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楊富華 第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟副理事長兼秘書長、標(biāo)準(zhǔn)化委員會主任
周 明 賽邁科先進材料股份有限公司總經(jīng)理?
肖青平 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司工藝總監(jiān)
徐明升 山東大學(xué)教授
彭棒棒 湖南三安半導(dǎo)體有限責(zé)任公司銷售總監(jiān)
董 娟 山東天岳先進科技股份有限公司知識產(chǎn)權(quán)經(jīng)理
劉曉星 山西爍科晶體有限公司市場技術(shù)經(jīng)理?
楊蘭芳 第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟副秘書長
共同見證2項SiC單晶生長用等靜壓石墨標(biāo)準(zhǔn)的發(fā)布。
標(biāo)準(zhǔn)制定背景
技術(shù)創(chuàng)新與技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)結(jié)合往往決定了產(chǎn)業(yè)的發(fā)展方向和產(chǎn)業(yè)價值鏈的分配比。
2024年，我國SiC襯底產(chǎn)量120萬片，同比增長60%，占全球供給的三分之一，進入全球第一梯隊。這離不開20年來SiC襯底研發(fā)的持續(xù)投入，離不開供應(yīng)鏈企業(yè)的共同努力。?
等靜壓石墨是PVT法生長SiC單晶的重要耗材，占SiC襯底生產(chǎn)物料成本的30%，其國產(chǎn)化、產(chǎn)業(yè)化、規(guī)模化推動了SiC成本的持續(xù)降低，加快了SiC器件更廣泛的應(yīng)用于光伏、儲能、工業(yè)變頻，為我國的雙碳戰(zhàn)略貢獻力量。
標(biāo)準(zhǔn)點評
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聯(lián)盟副理事長兼秘書長楊富華致辭中表示，標(biāo)準(zhǔn)已從傳統(tǒng)意義上的產(chǎn)品互換和質(zhì)量評判的依據(jù)上升為產(chǎn)業(yè)整體發(fā)展戰(zhàn)略的重要組成部分，成為事關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的基礎(chǔ)性、先導(dǎo)性和戰(zhàn)略性工作。本次碳化硅單晶生長用等靜壓石墨兩項標(biāo)準(zhǔn)的發(fā)布，標(biāo)志著我國在高端碳材料領(lǐng)域邁出堅實的一步。聯(lián)盟目前圍繞產(chǎn)業(yè)鏈上中下游協(xié)同，規(guī)劃制定標(biāo)準(zhǔn)60余項，以樹立行業(yè)信心，助力新興市場開拓，支撐產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。聯(lián)盟歡迎更多的產(chǎn)業(yè)力量參與進來，以標(biāo)準(zhǔn)為引領(lǐng)，以創(chuàng)新為驅(qū)動，共同構(gòu)建開放、共享、可持續(xù)的第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)體系。
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賽邁科先進材料股份有限公司總經(jīng)理周明致辭中說到，高純度等靜壓石墨是化合物半導(dǎo)體制程中的重要零部件耗材，尤其在碳化硅單晶生長中，石墨材料的純度控制、性能控制、科學(xué)應(yīng)用，極大的影響了晶體生長的質(zhì)量和良率。石墨熱場材料是否穩(wěn)定可控，成為了各襯底企業(yè)單晶生長環(huán)節(jié)的重要生命線之一。今天這2項團體標(biāo)準(zhǔn)的發(fā)布，也標(biāo)志著我國化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域用石墨及碳材料產(chǎn)品邁向了更高水。感謝參與本次標(biāo)準(zhǔn)編制的各用戶單位、高校、院所，為標(biāo)準(zhǔn)的起草提供了很多基礎(chǔ)數(shù)據(jù)、產(chǎn)品使用情況參考和寶貴意見。下一步，賽邁科將在聯(lián)盟指導(dǎo)下，繼續(xù)推進功能石墨材料、石墨基復(fù)合材料、材料測試方法的標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)，進一步提升行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)水平，把“好材料”推向“好用戶”，從“國產(chǎn)化”到“走出去”。
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第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟副秘書長兼標(biāo)準(zhǔn)化委員會秘書長高偉博士主持發(fā)布會。
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未來，CASA聯(lián)盟將繼續(xù)圍繞第三代半導(dǎo)體材料、器件及應(yīng)用，加速關(guān)鍵標(biāo)準(zhǔn)研制與國際化布局，助力第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在全球價值鏈中占據(jù)更高位勢。
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