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英飛凌科技申請功率半導體器件相關專利,提升功率半導體器件性能

發表于:2025-04-10 來源:半導體產業網 編輯:

 國家知識產權局信息顯示,英飛凌科技股份有限公司申請一項名為“功率半導體器件和制造功率半導體器件的方法”的專利,公開號 CN 119767702 A,申請日期為2024年9月 。

專利摘要顯示,一種制造功率半導體器件的方法,包括:提供半導體本體,其具有被絕緣材料覆蓋的豎直突出的鰭部(16),該絕緣材料被電極材料覆蓋,其中隔離材料至少部分地覆蓋該電極材料;暴露布置在鰭部的上部上方的電極材料的一部分;去除電極材料的暴露部分,以暴露被絕緣材料覆蓋的鰭部的上部,從而形成與鰭部的暴露上部的兩側相鄰的相應凹槽,該凹槽在空間上由絕緣材料、電極材料和隔離材料限制;通過對隔離材料的在空間上限制該凹槽的部分的邊緣進行斜切,提供另外的絕緣材料以及隨后的去除處理步驟,在器件的暴露部分的頂部上形成層間電介質ILD,以重新暴露鰭部的上部而隔離材料不覆蓋它;在ILD上方形成第一負載端子,其被配置為接觸鰭部的上部。

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